Kajian pembuatan sensor magnetoresistif berbasis bahan lapisan tipis permalloy Ni 80 Fe 20

NUROSYID, Fahru, Dr. Kamsul Abraha

2001 | Tesis | S2 Fisika

Telah berhasil dilakukan pembuatan sensor medan magnet dengan metode magnetoresistif. Bahan sensor menggunakan lapisan tipis magnetik permalloy NisoFe2o hasil deposisi dengan metode sputtering . Sistem sensor menggunakan sistem jembatan Wheatstone (Wheatstone bridge) dengan perbandingan R2 :R3 = 1 5 (1000 ohm : 5000 ohm) agar diperoleh keluaran yang optimum dan tegangan untuk pengoperasian sensor adalah ±-9 volt. Variasi ketebalan lapisan NigoFe2o yang dilakukan menghasilkan sensitivitas berbeda : sensitivitas sensor untuk ketebalan 0,4 mikrometer sebesar 0,41(mikroamper/mT), untuk ketebalan 1,6 mikrometer sebesar 0,71 (mikroamper/mT), untuk ketebalan 2,1 mikrometer sebesar 0,61 (mikroamper/mT),dan untuk ketebalan 2,4 mikrometer sebesar 0,33 (mikroamper/mT). Dan daerah kerja sensor adalah dalam orde 10-3 tesla sampai dengan 10(pangkat -4) tesla.

Fabrication of a magnetic field sensor using magnetoresistive method has been succesfully done. A Nig°Fez) permalloy magnetic thin film, which is produced by deposition of sputtering method, is used as a sensor material, The sensor system is based on Wheatstone bridge method using ratio R2 :R3 = 1 : 5 (1000 ohm : 5000 ohm) to obtain the optimum output and the voltage required to operate the sensor is about 9 volt. Varying the thickness of permalloy Ni8oFe2o thin film gave rise to varying sensitivity. Sensor sensitivity for the thickness of 0,4 gm is 0,41 (gA/mT), for thickness 1,6 gm is 0,71 (gA /mT), for thickness 2,1 gm is 0,61 (gA /mT), for thickness 2,4 gm is 0,33 (IAA /mT). And the sensor operating range is in the order of 10'3 teslato 10(pangkat -4) tesla

Kata Kunci : Sensor Medan Magnit, Metode Magnetoresistif, Lapisan Tipis Permalloy Ni 80 Fe 20