RANCANGBANGUN PIRANTI UKUR PRESISI OBJEK MIKROSKOPIK BERBASIS SENSOR VISUAL

QOYYUM MUHAMMAD AKBAR, Prof. (Emr) Adhi Susanto, M.Sc., Ph.D.,

2013 | Tesis | S2 Mag.Sistem Teknik

Mikroskop optik digunakan sebagai alat pengamatan objek sangat kecil yang tak dapat dilihat dengan mata telanjang. Mikroskop optik menjadi piranti yang sangat penting di berbagai bidang mulai dari bidang riset hingga industri. Selain untuk keperluan pengamatan, mikroskop optik juga bisa dijadikan piranti pengukuran. Rancang bangun piranti ukur presisi objek mikroskopik berbasis sensor visual ini dilakukan dengan menambahkan kamera dan penggerak pada meja mikroskop. Penggerak meja digunakan untuk menggerakkan spesimen secara presisi sehingga mikroskop dapat mengukur spesimen yang ukurannya diluar area tangkapan visual kamera. Penggerak meja mikroskop dirancang menggunakan actuator motor langkah dan poros ulir. Software aplikasi antarmuka dibuat menggunakan Borland Delphi 7. Aplikasi mengkonversi satuan piksel dari kamera dan satuan step dari motor menjadi micrometer. Hasil pengujian piranti ukur ini dapat mengukur objek baik objek yang berada dalam area tangkapan visual kamera maupun objek yang lebih besar. Jangkauan gerak meja mikroskop sebesar 50 mm x 40 mm. Aktuator penggerak meja mikroskop memiliki resolusi gerak sebesar 0,2 μm dengan nilai akurasi pengukuran antara -0.46% hingga 0,63%.

Optical microscope is used to observe very small object that can not be seen with naked eye. Optical microscope become to be very important tool in various filed from research to industrial field. Beside of observation purpose, optical microscope also widely used as measuring tool. Development of precision microscopic object measuring tool based on visual sensor is done by adding a camera on ocular lens and driving actuator on the microscope stage. The microscope stage is in precision measured movement, so that larger object can be measured. Microscope stage drive is designed using two stepper motor connected trough leadsrew. User interface application was made using Borland Delphi 7. Application converts pixel unit from the camera and step from the motor into micrometer unit. Test result of measuring tool can measure both objects are objects in the visual area of the camera or larger objects. Range of motion of the microscope table by 50 mm x 40 mm. Actuator of microscope stage has a resolution of 0.2 μm of motion with measured accuracy -0.46% to 0.63%.

Kata Kunci : piranti ukur, mikroskop, penggerak meja spesimen