Preparasi lapisan tipis piezoelektrik ZnO dengan metode DC-dioda sputtering dan karakterisasinya

WALUYA, Endiyas, Prof.Dr.Ir. Prayoto, M.Sc

1998 | Tesis | S2 Ilmu Fisika

Kata Kunci : Bahan Lapisan Tipis,Alat Penyimpan Data,Teknologi Lapisan Tipis