Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya

ERNIWATI, Dr. Kamsul Abraha

1998 | Tesis | S2 Ilmu Fisika

Kata Kunci : Teknik Sputtering Pada Kaca,Lapisan Tipis Piezoelektrik,Sifat Fisis