Penentuan tegangan optimal tabung akselerator mesin implantor Ion

PRIYANTORO, Dwi, Dr. H. Karyono, SU

2004 | Tesis | S2 Ilmu Fisika

Telah dilakukan penelitian tentang tegangan kerja tabung akselerator mesin implantor ion menggunakan sumber ion Cr +++. Tegangan tabung akselerator dikatakan optimal apabila jumlah ion yang ditransfer adalah maksimum. Parameter-parameter yang berpengaruh dalam operasi mesin implantor ion adalah tegangan anoda, arus filamen pemanas katoda, tegangan ekstraktor, tegangan celah, arus magnet kuadrupol, dan tegangan tabung akselerator. Tegangan anoda yang optimal dapat diperoleh dengan memvariasi tegangan tersebut dan mencatat nilai arus berkas ion pada kondisi tegangan tabung akselerator masih nol. Hal yang sama dilakukan untuk mendapatkan kondisi optimal dari arus filamen, tegangan ekstraktor, tegangan celah, dan arus magnet kuadrupol. Tegangan optimal tabung akselerator, diperoleh dengan memvariasi tegangan tersebut dan mencatat besarnya arus berkas ion, pada kondisi tegangan anoda, arus filamen, tegangan ekstraktor, tegangan celah, dan arus magnet kuadrupol, yang optimal. Hasil penelitian menunjukkan bahwa tegangan optimal dari tabung akselerator adalah 95,6 kV dan jumlah ion adalah sebanyak 1,04 ´ 1013 partikel/detik.

The measurement of accelerator tube optimal voltage which using Cr+++ ion has been investigated. The optimal voltage is due to high voltage which transfer maximum ion beam. The influence parameters of the ion implantor machine are anode voltage, current of cathode heater filament, extractor voltage, chink voltage, current of magnetic quadrupole, and accelerator tube voltage. The optimal voltage of anode can be obtained from the various voltage and note the current of ion beam while the accelerator tube voltage is zero. The same way can be obtained for getting the optimal of filament current, the optimal of extractor voltage, the optimal of chink voltage, and the optimal of magnetic current. The optimal voltage of accelerator tube can be obtained by giving various voltage to the accelerator tube and determine the current of ion beam. The result showed that the optimal voltage of the accelerator tube was 95.6 kV and the number of ion beam was 1.04 ´ 10 13 particles/second.

Kata Kunci : Mesin Implantor Ion,Akselerator,Tegangan Optimal, accelerator, ion, optimal voltage