Deposisi Lapisan Tipis Titanium Nitrida Pada Substrat Besi Lunak Dengan Teknik Sputtering

David Sutanto , Ir. Mudjijana, M. Eng.

1998 | Skripsi | S1 TEKNIK MESIN

Pada percobaan ini diambil titanium sebagai bahan targetnya dan aluminium paduan sebagai bahan substratnya

In this experiment, titanium was taken as the target material and aluminum alloy as the substrate material.

Kata Kunci : Deposisi, Titanium Nitrida, Substrat Besi, Sputtering