Deposisi Lapisan Tipis Titanium Nitrida Pada Substrat Besi Lunak Dengan Teknik Sputtering

Christian Cahyadi , Ir. Mudjijana, M. Eng.

1998 | Skripsi | S1 TEKNIK MESIN

Besi adalah logam yang sering digunakan dalam kehidupan sehari-hari karena harganya murah dan mudah dibuat

Iron is a metal that is often used in everyday life because it is cheap and easy to make.

Kata Kunci : Deposisi, Lapisan Tipis, Titanium Nitrida, Substrat Besi Lunak, Teknik Sputtering