Deposisi bahan lapisan tipis amorf silikon (a-Si) dengan teknik sputtering dan karakterisasi sifat listriknya

MAHARDIKA, I Ketut, Drs. Karyono, SU.,Ph.D

1997 | Tesis | S2 Ilmu Fisika

Kata Kunci : Ilmu Fisika,Semikonduktor (Silikon)