Pengaruh suhu anil dan dosis ion pada hambatan lapis lapisan semikonduktor silikon diimplantasi ion boron dan fosfor dosis tinggi

YUDYANTO, Prof.Dr.Ir. Prayoto, M.Sc

1995 | Tesis | S2 Ilmu Fisika

Kata Kunci : Ilmu Fisika,Deposisi Bahan,Lapisan Semikonduktor Silikon